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半導(dǎo)體晶圓槳葉干燥機(jī)KJG

更新時(shí)間:2023-10-25

簡(jiǎn)要描述:

半導(dǎo)體晶圓槳葉干燥機(jī)KJG

技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型涉及干燥機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種槳葉干燥機(jī)。
背景技術(shù)
[0002] 槳葉干燥機(jī)是一種在設(shè)備內(nèi)部設(shè)置攪拌槳,使?jié)裎锪显跇~的攪動(dòng)下,與熱載體以及熱表面充分接觸,從而達(dá)到干燥目的的低速攪拌干燥器,結(jié)構(gòu)形式一般為臥式,雙軸或四軸。槳葉式干燥器分為熱風(fēng)式和傳導(dǎo)式。
[0003] 現(xiàn)在對(duì)干燥的效率和效果的要求越來(lái)越高,傳統(tǒng)直接進(jìn)行熱風(fēng)的干燥方式

半導(dǎo)體晶圓槳葉干燥機(jī)KJG

技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型涉及干燥機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種槳葉干燥機(jī)。
背景技術(shù)
[0002] 槳葉干燥機(jī)是一種在設(shè)備內(nèi)部設(shè)置攪拌槳,使?jié)裎锪显跇~的攪動(dòng)下,與熱載體以及熱表面充分接觸,從而達(dá)到干燥目的的低速攪拌干燥器,結(jié)構(gòu)形式一般為臥式,雙軸或四軸。槳葉式干燥器分為熱風(fēng)式和傳導(dǎo)式。
[0003] 現(xiàn)在對(duì)干燥的效率和效果的要求越來(lái)越高,傳統(tǒng)直接進(jìn)行熱風(fēng)的干燥方式已經(jīng)不能滿足需求,尤其是在一些特殊物質(zhì)的干燥上,例如半導(dǎo)體晶圓的干燥。實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種干燥效果好的槳葉干燥機(jī)。
[0005] 為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種槳葉干燥機(jī),包括第一承載臂、第二承載臂、干燥罐、水箱以及接水箱,所述水箱安裝在干燥罐的頂部,所述接水箱安裝在干燥罐的底部,所述水箱的頂部設(shè)有注水口,所述注水口上設(shè)有密封帽,所述干燥罐的前側(cè)設(shè)有第一密封蓋,所述第一密封蓋與干燥罐鉸接,所述干燥罐內(nèi)設(shè)有殺菌裝置、轉(zhuǎn)動(dòng)軸以及噴淋頭,所述殺菌裝置為紫外線光照燈,所述殺菌裝置安裝在干燥罐的內(nèi)腔頂部以及內(nèi)腔的兩端側(cè)壁上,所述噴淋頭設(shè)有多個(gè),且安裝在干燥罐內(nèi)腔的頂部,所述噴淋頭通過(guò)導(dǎo)水管與水箱連通,所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過(guò)軸承安裝在干燥罐內(nèi)腔的兩端,所述第一承載臂以及第二承載臂內(nèi)均設(shè)有安裝槽,所述第二承載臂的安裝槽內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述第二承載臂上設(shè)有固定架,所述固定架上安裝有第一減速電機(jī),所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)齒輪與第一減速電機(jī)連接,所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸貫穿干燥罐與第一減速電機(jī)連接,所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上設(shè)有安裝架以及槳葉,所述干燥罐上設(shè)有加熱器以及排氣閥,所述排氣閥內(nèi)設(shè)有抽風(fēng)機(jī)以及過(guò)濾區(qū),所述過(guò)濾區(qū)內(nèi)設(shè)有過(guò)濾裝置,所述干燥罐通過(guò)排水管與接水箱連通,所述導(dǎo)水管以及排水管上均設(shè)有電磁閥門(mén),所述水箱上設(shè)有排水口,所述排水口上設(shè)有密封端蓋。
[0006] 進(jìn)一步的,本實(shí)用新型改進(jìn)有,所述第一承載臂的安裝槽內(nèi)安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)以及第二減速電機(jī),所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)齒輪與第二減速電機(jī)連接,所述第二減速電機(jī)上設(shè)有傳動(dòng)軸,所述傳動(dòng)軸與干燥罐連接。
[0007] 進(jìn)一步的,本實(shí)用新型改進(jìn)有,所述水箱、干燥罐以及接水箱采用鋁鎂合金材質(zhì)。
[0008] 進(jìn)一步的,本實(shí)用新型改進(jìn)有,所述密封端蓋通過(guò)螺紋桿插入排水口內(nèi),所述密封端蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)有密封墊。
[0009] 進(jìn)一步的,本實(shí)用新型改進(jìn)有,所述水箱以及接水箱的前側(cè)設(shè)有清理口,所述清理口為矩形結(jié)構(gòu),所述清理口上設(shè)有第二密封蓋,所述第一密封蓋以及第二密封蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)有密封邊,所述密封邊上設(shè)有密封墊。
[0010] 進(jìn)一步的,本實(shí)用新型改進(jìn)有,所述干燥罐的殼體上設(shè)有導(dǎo)熱層,所述加熱器上設(shè)有儲(chǔ)水腔,儲(chǔ)水腔上設(shè)有導(dǎo)水管與導(dǎo)熱層連通,所述儲(chǔ)水腔上設(shè)有注水孔。
[0011] 進(jìn)一步,本實(shí)用新型改進(jìn)有,所述第一密封蓋以及第二密封蓋的底部設(shè)有限位鎖,所述限位鎖包括旋鈕、彈簧、彈簧架、鎖桿以及拉繩,所述鎖桿與彈簧的一端焊接,所述彈簧的另一端與彈簧架焊接,所述彈簧架上設(shè)有通孔,所述旋鈕上設(shè)有線軸,所述拉繩的一端與線軸纏繞,另一端與穿過(guò)通孔與鎖桿連接,所述干燥罐、水箱以及接水箱上設(shè)有鎖孔與鎖桿連接。
[0012] 進(jìn)一步的,本實(shí)用新型改進(jìn)有,所述過(guò)濾裝置包括過(guò)濾網(wǎng)以及碳纖維顆粒。
[0013] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型提供了一種槳葉干燥機(jī),具備以下有益效果:
[0014] 本實(shí)用新型通過(guò)噴淋頭,噴淋去離子水在待干燥物品的表面進(jìn)行清洗,同時(shí)紫外線光照燈對(duì)待干燥物品進(jìn)行消菌殺毒,在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下,轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)安裝架轉(zhuǎn)動(dòng),從而帶動(dòng)待干燥物品轉(zhuǎn)動(dòng),提高清洗面以及光照明,從而提高對(duì)待干燥物品的清洗以及滅菌效果,當(dāng)干燥罐內(nèi)的去離子水積攢到一定容量時(shí),在槳葉的帶動(dòng)下攪拌去離子水,從而使去離子水與待干燥物品沖刷清洗,進(jìn)一步提高清洗效果,待干燥物品清洗干凈后表面無(wú)殘留物,相對(duì)可增進(jìn)較佳的干燥效果。











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